POLOS® SPIN150X 基材旋涂機 PTFE 高級版

POLOS® SPIN150x是一種多功能、高質量的基材旋涂機，由PTFE制成。它專為研發和小批量生產而設計。

可以同時實現臺式（Table top）和嵌入式（In-deck）版本，用于手動或自動（可選）化學藥劑分配。

適用于涂層、清潔、沖洗/干燥、顯影、蝕刻、PDMI 及其他工藝。

POLOS® SPIN150X 基材旋涂機 PTFE 高級版

腔室規格:

- 最大支持6英寸（150毫米）晶圓

- 最大支持4英寸×4英寸（100毫米）基板

- 材質: PTFE 

硬件規格:

- 液體過濾器

- 具有特殊的外殼和排水設計，可在現場輕松切換臺式和嵌入式型號.

- 配備中心注射架，用于安裝注射器或分配噴嘴

- 蓋鎖和真空傳感器確保用戶安全

-大型（可拆卸）觸摸顯示屏

- USB 端口，用于在 USB 驅動器上存儲配方和進行軟件更新

- 8 I/O 端口

-能夠定義電機歸零位置，便于在機器人控制/自動化環境中進行集成

-通過集成步進電機實現自動開蓋和關蓋.

驅動單元規格:  

- 采用間接無刷驅動單元

- 最高轉速可達12,000 RPM（取決于基板/卡盤）

- 具有高加速度和高精度

- 加/減速范圍為1-30,000 RPM 

- CW、CCW旋轉和Puddle選項

隨附旋涂儀卡盤和適配器

- 隨附1個A-V36-S45-PTFE-HD真空卡盤.

- 隨附1個D-V10-S50-PTFE-HD碎片適配器.

- 由FCA SPS-Europe, The Netherlands提供